微电子封装与射频系统封装技术

发布时间:2026-03-10点击数:

在封装方面,本中心团队聚焦微电子封装与射频系统封装领域,形成了多项核心成果:①基于变焦显微测量技术的键合金丝参数测量:通过高精度光学系统与智能算法结合,实现亚微米级金丝形貌与力学参数的实时检测,检测效率提升50%以上。②X波段T/R组件键合金丝自动检测技术:采用机器视觉与深度学习技术,解决高频信号传输中金丝键合缺陷的自动化识别问题,缺陷检出率达99.2%。③大功率GaN芯片封装设计与热分析:创新封装结构结合多物理场仿真,芯片结温降低30%,可靠性大幅提升。④丝键合微波芯片(专利CN202223051711.0):实用新型专利技术,键合强度提高25%,适用于高频通信场景。⑤射频多芯片集成封装与散热技术:通过三维异构集成与微通道散热设计,功率密度大幅提升,综合性能达国际先进水平。

图1射频微波器件/系统的先进封装技术

针对电子信息系统对高密度集成与小型化的迫切需求,本中心团队开展射频微波器件/系统的多芯片组装与先进封装技术研究,形成以下关键成果:①实现射频系统在微纳尺度下的高性能集成;②提升微波系统的小型化、高可靠、高稳定性能;③面向新一代通信设备的多功能、紧凑型射频封装方案已具备量产条件。