本中心团队基于MEMS技术，研发了一体式MEMS微震计样机（图6），具备以下技术亮点：①在0.2～4Hz的微震频带内，传感器自噪声低至2 ng/√Hz；②实现了谐振频率低至10 Hz的低噪声三维MEMS干涉仪；③静态加速度检测灵敏度高达1195 V/g；④实现了地球地面微震的现场观测。

该设备可广泛应用于地球物理、大地测量、精密惯导等领域。

图1 MEMS微震加速度计